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,能够制造出更为精细的芯片。不过,由于其采用尺寸较小的掩模版,目前在可制造芯片面积方面受到限制。ASML计划到2031年展示采用更大尺寸掩模版的试验生产线,并在2033年使这项新技术具备大规模量产能力。